Полупроводниковые керамические конструкционные компоненты относятся к деталям полупроводникового оборудования, изготавливаемым методом точной обработки с использованием передовых керамических материалов, таких как глинозёмная керамика, нитрид алюминия и карбид кремния. Полупроводниковая отрасль переживает бурный рост, и полупроводниковые керамические компоненты играют важнейшую роль в полупроводниковом оборудовании благодаря своим уникальным свойствам.

Какие материалы используются для полупроводниковых керамических компонентов?

1. Алюмооксидная керамика

Алюмооксидная керамика служат основным материалом для производства керамических компонентов. Они обладают выдающимися механическими свойствами, исключительно высокой температурой плавления и твёрдостью, отличной коррозионной стойкостью и химической стабильностью, высоким электрическим сопротивлением и превосходной электроизоляцией. Эти характеристики делают их идеальными для изготовления полировальных пластин, вакуумных присосок, керамических рычагов и аналогичных применений.

2. Керамика из оксида иттрия

Керамика из оксида иттрия отличается высокой температурой плавления, превосходной химической и фотохимической стабильностью, низкой энергией фононов, высокой теплопроводностью и хорошей светопроницаемостью. В полупроводниковой промышленности они часто используются совместно с керамикой из оксида алюминия — например, путём напыления оксида иттрия на керамику из оксида алюминия для создания керамических окон.

3. Циркониевая керамика

Керамика на основе циркония обладает высокой механической прочностью, устойчивостью к высоким температурам и кислотам/щелочам, а также отличными электроизоляционными свойствами. В зависимости от содержания циркония они делятся на прецизионные (с чистотой более 99,9%, используемые для подложек интегральных схем и высокочастотных изоляционных материалов) и стандартные керамики (применяемые для различных керамических изделий).

4. Керамика из нитрида алюминия

Керамика из нитрида алюминия обладает высокой теплопроводностью, коэффициентом теплового расширения, совпадающим с коэффициентом кремния, а также низкой диэлектрической проницаемостью и диэлектрическими потерями. Благодаря высокой температуре плавления, исключительной твёрдости, отличной теплопроводности и прочным изоляционным свойствам, она в основном используется для производства подложек, обеспечивающих отвод тепла, керамических сопел и электростатических зажимов.

5. Керамика из нитрида кремния

Керамика из нитрида кремния обладает высокой температурой плавления, исключительной твёрдостью, химической стабильностью, низким коэффициентом теплового расширения, высокой теплопроводностью и отличной устойчивостью к термическому удару. При температуре ниже 1200°C они демонстрируют выдающуюся ударопрочность и прочность, благодаря чему широко используются при производстве керамических подложек, несущих крюков, направляющих штифтов и керамических трубок.

6. Керамика из карбида кремния

Керамика из карбида кремния обладает свойствами, схожими с алмазом: она легкая, чрезвычайно твёрдая и отличается исключительно высокой прочностью. Её выдающиеся комплексные характеристики, включая износостойкость и коррозионную стойкость, делают её широко используемой в таких компонентах, как седла клапанов, подшипники скольжения, горелки, форсунки и теплообменники.